四探針低電阻率測試儀

四探針低電阻率測試儀當探測器具有適當的靈敏度,電腦電阻的*百分比誤差是指臂A,B和N的百分比誤差總和。當采用1 mV/分刻度的探測器靈敏度時,500V電壓施加到電橋上,RN=1GΩ,電阻為1000TΩ將能產生一個分刻度的探測器偏移。假設忽略RA和RB的誤差,已知RN=1GΩ在±2%之內,同時電橋平衡在一個探測器分刻度,可采用±6%的*誤差來測量100TΩ的電阻。

四端測試法是目前較*之測試方法，主要針對高精度要求之產品測試；本儀器廣泛用于生產企業、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。

本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電導率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導率測試儀自動測量并根據測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成圖表和報表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導率值、溫度、壓強值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.

提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內及國外客戶需求

四探針低電阻率測試儀直接測量:

 電流計-電壓表——采用電流計-電壓表方法測量電阻的*百分比誤差是電流計指示性,電流計可讀性和電壓表指示性的百分比誤差總和。一個示例是:當500V施加到40GΩ電阻時(電導為25pS),靈敏度為500/pA刻度的電流計將偏離25個刻度。如果偏離可讀取到接近0.5個刻度時,同時校準誤差(包括埃爾頓頓分流誤差)為觀測值的±2%,最終的電流計誤差將不超過±4%。如果電壓表誤差為±2%的滿刻度,當電壓表讀取滿刻度時,可采用±6%*誤差來測量該電阻值;同時當讀取1/3的滿刻度時,可采用±10%*誤差來測量該電阻值。要求讀取接近滿刻度是容易顯而易見的。

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學，直觀使用；

2. 基本設置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導率和分選結果；多種參數同時顯示。

3. 精度高：電阻基本準確度： 0.05％；方阻基本準確度：3%；電阻率基本準確度：3%

4. 整機測量最大相對誤差：≤±3%；整機測量標準不確定度：≤±3%

5. 四位半顯示讀數；八量程自動或手動測試；

6. 測量范圍寬： 電阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；

7. 正反向電流源修正測量電阻誤差

8. 恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開關可有效保護被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關可一直處于開的狀態。

9. 可配合多種探頭進行測試；也可配合多種測試臺進行測試。

10. 校正功能：可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。

11. 厚度可預設，自動修正樣品的電阻率,無需查表即可計算出電阻率。

12. 自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正。

13. 雙電測測試模式，測量精度高、穩定性好.

14. 具備溫度補償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結果偏差。

15. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業效率得以提高。

3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細的分選結果。

16. 測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。

17. 豐富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實現遠程控制。U盤可記錄測試數據

18. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點的測試數據；可供用戶對數據進行各種數據分析。

標配：測試平臺一套、主機一套、電源線數據線一套。

電壓表-電流表——計算值的*百分比誤差是指電壓Vx,Vs和電阻Rs的百分比誤差的總和。與特定方法相比,Vs和Rs的誤差通常更取決于采用設備的特征。確定Vs誤差的最關鍵因素是指示器誤差,放大器零漂移和放大器增益穩定性。采用新式精心設計放大器或靜電計,增益穩定性通常不是關注的問題。采用現有的技術,直流電壓放大器或靜電計的零漂移不能夠排除,但是可以將之足夠低而成為這些測量的相對不關鍵因素。只要精心設計換流器型放大器,零漂移實際上不存在。因此,假如電位計電壓精確已知的話,圖X1.2(b)的零位法理論上比采用指示器的方法誤差更小。Rs的誤差取決于放大器靈敏度。當在給定電流下測量時,放大器靈敏度越高,較低值可能性越大,此時可使用高精密線纏繞標準電阻器。放大器可以獲得。已知精確到±2%的100GΩ標準電阻是可以適用的。當施加500V時,如果放大器或靜電計的10mV輸入能提供滿刻度偏移,誤差不大于2%的滿刻度,則可采用6%的*誤差(當電壓計讀取滿刻度時)或10%的*誤差(當電壓計讀取1/3刻度時)來測定5000TΩ的電阻。