導電四探針方阻電阻測試儀

導電四探針方阻電阻測試儀根據不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO膜）或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配專用探頭，也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

導電四探針方阻電阻測試儀運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準。

覆蓋膜;導電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導體材料、薄膜材料方阻測試

硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻  半導體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導電薄膜（ITO導電膜玻璃等），金屬膜，導電漆膜，蒸發鋁膜，PCB銅箔膜，EMI涂層等物質的薄層電阻與電阻率  導電性油漆，導電性糊狀物，導電性塑料，導電性橡膠，導電性薄膜，金屬薄膜， EMI 防護材料，導電性纖維，導電性陶瓷等，提供中文或英文兩種語言操作界面選擇

注意事項：

　　1、儀器操作前請您仔細閱讀使用說明書，規范操作

　　2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量

　　3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經常拔下，避免灰塵進入航空插引起短接等現象

　　4、探針筆測試結束，套好護套，避免人為斷針

　　本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學，直觀使用；

2. 基本設置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導率和分選結果；多種參數同時顯示。

3. 精度高：電阻基本準確度： 0.05％；方阻基本準確度：3%；電阻率基本準確度：3%

4. 整機測量最大相對誤差：≤±3%；整機測量標準不確定度：≤±3%

5. 四位半顯示讀數；八量程自動或手動測試；

6. 測量范圍寬： 電阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；

7. 正反向電流源修正測量電阻誤差

8. 恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開關可有效保護被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關可一直處于開的狀態。

9. 可配合多種探頭進行測試；也可配合多種測試臺進行測試。

10. 校正功能：可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。

11. 厚度可預設，自動修正樣品的電阻率,無需查表即可計算出電阻率。

12. 自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正。

13. 雙電測測試模式，測量精度高、穩定性好.

14. 具備溫度補償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結果偏差。

15. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業效率得以提高。

3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細的分選結果。

16. 測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。

17. 豐富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實現遠程控制。U盤可記錄測試數據

18. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點的測試數據；可供用戶對數據進行各種數據分

析。

標配：測試平臺一套、主機一套、電源線數據線一套。