雙電測(cè)量四探針?lè)阶桦娮杪蕼y(cè)試儀

雙電測(cè)量四探針?lè)阶桦娮杪蕼y(cè)試儀亦稱雙位組合）測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序。

雙電測(cè)量四探針?lè)阶桦娮杪蕼y(cè)試儀測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析1、測(cè)量范圍：電阻率：0.001－200Ω.cm(可擴(kuò)展)薄層電阻:0.01-2000Ω/口(可擴(kuò)展)可測(cè)晶片厚度：≤3.00mm2、恒流電源:電流分為100mA、1mA、10mA、 100ma 四檔 ；連續(xù)可調(diào)；穩(wěn)定度優(yōu)于0.3%3、數(shù)字電壓表：量程：0－199.99mV;分辨率：0.01mV精度：±0.1%顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示。極性、小數(shù)點(diǎn)、超量程自動(dòng)顯示；4、模擬電路測(cè)試誤差：(用1、10、100、1000 ?精密電阻測(cè)量)≤±0.3%±1字

測(cè)量范圍電阻率：10-4～105Ω.cm（可擴(kuò)展）；

方塊電阻：10-3～106Ω/□（可擴(kuò)展）；

電導(dǎo)率：10-5～104s/cm；

電阻：10-4～105Ω；

可測(cè)晶片厚度≤3mm

四探針探頭基本指標(biāo)間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機(jī)械游移率：≤0.3%；

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；